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Keywords: 离子注入铒3阳极氧化光致发光深能级
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利用77K红外光致发光实验研究了电化学过程对离子注入Si:Er^3+样品的光致发光影响。实验表明:电化学过程除在Si:Er^3+样品硅基质晶体中引入大量的深能级局域态外,还使Si:Er^3+样品中的1.54μm光致发光效率明显提高,且Er^3+发光峰增宽,次峰更丰富。
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