钛掺杂对Ge2Sb2Te5薄膜相变特性的改善

利用椭偏光谱术与XRD对钛掺杂Ge2Sb2Te5薄膜中钛元素对体系的光学性质及其微结构的影响进行了实验研究.进而对该薄膜进行变温阻抗实验表明，钛掺杂Ge2Sb2Te5薄膜与未掺杂的薄膜相比具有更好的热稳定性.基于对薄膜样品的数据保持能力测试的实验数据，经阿伦纽斯外推处理可知，钛掺杂Ge2Sb2Te5薄膜样品的10年数据保持温度要高于未掺杂Ge2Sb2Te5薄膜样品.本文的实验结果均证实，钛掺杂Ge2Sb2Te5薄膜更适合应用于相变随机存取存储器中