波长扫描光纤干涉仪扫描模型的建立及分析
Keywords: 光纤干涉仪,波长扫描,距离,扫描模型
Abstract:
介绍了一种新的可用于绝对距离测量的波长扫描光纤干涉仪,建立了测量系统及波长扫描的模型,分析了波长扫描的随机漂移对测量的影响,提出了对光源扫描性能的要求.实验结果表明,测量系统的精度可达到0.05μm.
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