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Keywords: 量子点湿法腐蚀荧光光谱砷化镓尺寸分布
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介绍了用可见光光刻后用湿法腐蚀制备了GaAs/AlGaAs量子点的方法,并用小光点光荧光的方法检测了所制备量了点的均匀性,从理论上给出了量子点的尺寸分布,并结合多量子阱阱宽的涨落,分析了荧光峰的线型和展宽机制。
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