CdTe薄膜的红外光学特性研究
Keywords: 折射率基板温度红外光学特性碲化镉薄膜
Abstract:
用干涉法研究了热蒸发(PVD)方法制备的CdTe薄膜材料的红外光学特性,通过对不同基板温度和不同薄膜厚度CdTe薄膜样品的研究,确定了在薄膜沉积过程中基板温度和膜厚对CdTe薄膜红外光学特性的影响,发现CdTe薄膜具有一定的非均匀性,其折射率随着薄膜厚度的增加而减小,在120-200℃范围内,基板温度对CdTe薄膜红外光学特性的影响不大。
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