模拟退火法在椭偏光谱数值反演中的应用
Keywords: 模拟退火法椭偏光谱数值反演薄膜光学性质
Abstract:
将模拟退火（ＳＡ）法应用于椭偏光谱数值反演，以达到同时得到介质薄膜的厚度和光学常数谱，并对ＳＡ算法作了说明和改进，作为应用实例，计算了Ｓｉ衬底上的ＳｉＯ２薄膜和Ｂａ０．９Ｓｒ０．１ＴｉＯ３（ＢＳＴ）铁电薄膜的膜厚及光学常数谱，同时讨论了椭扁参数φ和△随膜厚及折射率变化的灵敏度。
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