用于无线互连的片上天线金属干扰分析与设计规则

定性分析了金属互连线、电源网格、散热与封装以及金属DummyFills对2mm长、30μm宽的片上偶极天线对工作特性的影响.通过在硅衬底和散热金属之间引入0.35mm厚的金刚石介质材料使天线的传输增益在20GHz时提高了9dB.为研究这些金属结构和布局对集成偶极天线对的传输增益、相位、阻抗及辐射特性带来的干扰，使用三维电磁场软件HFSS进行了全面模拟，根据实验结果与分析借助数值拟合的方法得出了天线对增益大小及相位在金属干扰环境下的若干线性经验公式，总结了一套面向无线互连的片上天线设计规则.