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ISSN: 2333-9721
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红外与毫米波学报 2009

长波红外2048元线列碲镉汞焦平面器件

Keywords: 长波,长线列,红外焦平面,碲镉汞

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Abstract:

介绍了长波红外2048元线列碲镉汞焦平面器件的制备技术和达到的性能参数.探测器采用离子注入平面pn结制备光敏元,通过间接倒焊技术和读出电路互联,采用8个256元焦平面模块拼接2048元线列焦平面器件.光敏元的响应截止波长达到9.9μm,相应的RoA达到10Ωcm2,平均峰值探测率达到9.3×1010cmHz1/2W-1,响应不均匀性为8%,有效光敏元率大干99.5%.

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