非制冷微测辐射热计支撑层厚度比研究

根据实验室设计的单层微测辐射热计所采用的Si3N4和SiO2双层膜复合支撑结构的工艺，分别利用力学的等效截面方法和复合材料热导公式，从理论上推导了微桥桥腿正应力和热导的解析表达式。分析在其它因素不变的情况下，仅调整Si3N4和SiO2两者厚度比值（m）对微测辐射热计力学和热学性质的影响。并用ANSYS有限元仿真的方法验证了理论推导。