全部 标题 作者
关键词 摘要

OALib Journal期刊
ISSN: 2333-9721
费用:99美元

查看量下载量

相关文章

更多...

128×1线列InGaAs短波红外焦平面的研究

Keywords: 探测器焦平面InGaAs钝化

Full-Text   Cite this paper   Add to My Lib

Abstract:

报道了用分子束外延(MBE)方法生长的掺杂InGaAs吸收层PINInP/InGaAs/InP双异质结外延材料,通过干法刻蚀和湿法腐蚀相结合制作台面、硫化和聚酰亚胺钝化、电极生长等工艺,制备了128×1台面正照射InGaAs探测器阵列.测试了器件的变温I-V、响应光谱和探测率,在278K时平均峰值探测率为1.03×1012cmHz1/2W-1.实现了128元InGaAs探测器阵列与CTIA结构L128读出电路相互连,经封装后,在室温(291K)时成功测出128元响应信号.焦平面响应的不均匀性为18.3%,并对不均匀性产生的原因进行了分析.

References

[1]  ZHANG Yong-Gang,GU Yi,ZHU Cheng,et al.Fabrication of short wavelength infrared InGaAs/InP photovoltaicdetector series[J].J.Infrared Millim.Waves (张永刚,顾溢,朱诚,等.短波红外InGaAs/InP光伏探测器系列的研制.红外与毫米波学报),2006,25(1):6-9.
[2]  Kozlowski L J,Tennant W E,Zandian M,et al.SWIR staring FPA performance at room temperature[J].SPIE,1996,2746:93-100.
[3]  Moy J P,Hugon X,Chabbal J,et al.3000 InGaAs photodiode multiplexed linear array for the spot 4 SWIR channel[J].SPIE,1989,1107:137-151.
[4]  JIA Jia,CHEN Gui-Bin,GONG Hai-Mei,et al.Study on the junctions of SWIR HgCdTe photo diodes at room temperature with laser beam induced current[J].J.Infrared Millim.Waves (贾嘉,陈贵宾,龚海梅,等.室温短波碲镉汞结区的LBIC方法研究.红外与毫米波学报),2005,24(1):11-14.
[5]  Olsen G H,Joshi A M,Mykietyn E,et al.Room-temperature InGaAs arrays for 1.0-1.7μm[J].SPIE,1989,1107:188-193.
[6]  Zemel A,Gallant M.Carrier lifetime in InP/InGaAs/InP by open-circuit voltage and photoluminescence decay[J].J.Appl.Phys.,1995,78:1094-1099.

Full-Text

Contact Us

service@oalib.com

QQ:3279437679

WhatsApp +8615387084133