上海光源软X射线干涉光刻线站波荡器光源及束线相干性研究

同步辐射波荡器光源相干性能逐步提高，使得同步辐射相干光学实验对理论模拟的要求越来越高。对同步辐射光束线空间相干性进行有效的评估，可以指导相干光束线的设计及其相干光学实验的开展。本文利用部分相干光传播计算模型，数值模拟了上海光源软X射线干涉光刻光束线部分相干光的传播，理论和实验结果进行了比较，得到不同参数下的空间相干性，分析了误差产生原因。相干性的定量分析结果可以为实现空间相干性的定量控制提供依据。