压电薄膜泵驱动的新型直线马达

提出了一种由压电薄膜泵和液压缸构成的新型直线马达(简称压电液压马达)。介绍了其结构和工作原理，并进行了性能分析与测试。利用尺寸为35mm×1mm的薄膜型压电振子制作了两腔体串联压电泵，并与直径15mm、有效行程100mm的液压缸进行了联机试验。研究结果表明，在驱动频率一定，驱动电压超过100V时，驱动力与速度随电压的提高线性增加。在驱动电压为140V、工作频率为70Hz的条件下，获得压电液压马达的最大速度和推力分别为14.5mm/s和17.8N，最大输出功率为63.5mW。