基于ANSYS的金刚石合成腔内的温度场分析

利用有限元程序ANSYS对金刚石片状块合成腔体内的温度场进行了全瞬态热电耦合分析。考虑到锤温对金刚石合成效果的影响，通过创建载荷步文件，实现了锤温的加载。腔体中心温度的时间历程曲线表明，初始锤温越高腔体温度到达热平衡态就越快，这种关系将直接影响到金刚石的成核与生长。结点温度的数值结果表明：金刚石合成腔内的温度分布呈中心高、四周低的趋势，且轴向温差为80℃，径向温差为50℃。而单元生热率及热流密度的数值结果表明，腔体边界上的对外热传导是温度不均匀分布的主要原因。