纳米AZO膜的制备及其光电性能

为开发光电纳米结构功能纺织品，采用磁控溅射技术在丙纶非织造布上制备掺铝氧化锌（AZO）薄膜，并对AZO膜进行原子力显微镜（AFM）表征，分析不同工艺参数对AZO薄膜结构的影响以及AZO的导电性能和抗紫外线性能的影响。结果表明：颗粒直径增大随着压强增大，当压强增大到一定后，颗粒直径逐渐变小；颗粒直径随着功率增加而增大，但继续增加，薄膜的均匀性将变差，表面变得粗糙，但导电性能提高；溅射时间的延长能改善薄膜的均匀性和致密性。在溅射压强为0.5Pa,溅射功率为120W，溅射时间为60min时，AZO薄膜的均匀性和致密性最好，制备的AZO薄膜具有优良导电性能，同时对紫外线的吸收能力较好。