基于溶胶-凝胶法的ITO透光导电膜制备

以In(NO3)3？4.5H2O为主要原料，用乙酰丙酮作溶剂，掺加SnCl4？5H2O(铟锡物质的量比为10:1)制得溶胶，以石英玻璃为基体用提拉法制得ITO膜，与已有制备方法相比，试样每次提拉后都经过500℃退火处理，循环5次。利用表面轮廓仪、原子力显微镜、X射线衍射仪、紫外-可见分光光度计和四探针测试仪对所制样品的厚度、形貌结构和光电性能进行了测试表征。实验结果表明，制备的ITO膜导电性能好，在可见光范围内透光率高，电阻率约为5.625×10-3Ω？cm，透光率可达到90%～95%。