化学气相沉积碳化钛的热力学和动力学研究

对采用TiCl4-CH4-H2反应体系化学气相沉积碳化钛的反应热力学和成核热力学因素进行了分析,并在实验的基础上研究了不同沉积温度下化学气相沉积TiC过程的动力学特征,以及在不同的动力学控制机制下气相过饱和度和成核过程对TiC涂层的析出形态的影响。在沉积过程中,气相过饱和度和动力学控制机制是控制沉积物的成核过程和析出形态的决定因素。