无损检测新工具——扫描激光声学显微镜

许多年来,超声检验已广泛用作无损检验的一个手段。对于大多数大型结构,由于受有限的频率范围(1～10MHz)限制,无法检测宏观缺陷。随着材料技术的进展,需要研制高分辨率的无损检测设备。近年来,扫描激光声学显微镜研制成功,并开始进入实用阶段。扫描激光声学显微镜(SLAM)是一种高频超声映象装置,它可以使在光学上不透明材料的内部产生放大的图象。它具有10～500MHz的广阔的频率范围,能够检验大型零件的内部缺陷,也可以用于小型零件的探测。由于高频范围,使显微镜结构探测进入微观范围。