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ISSN: 2333-9721
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材料工程  2001 

Ti/ZrN2/Al薄膜界面扩散反应的研究

, PP. 36-39

Keywords: 界面扩散,ZrN2,俄歇电子能谱,线形分析

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Abstract:

利用直流磁控反应溅射法在Al基底上制备了ZrN2及Ti多层薄膜.利用扫描俄歇微探针的深度剖析和线形分析技术研究了真空热处理对Ti/ZrN2/Al样品膜层之间的界面化学状态和相互作用的影响.研究结果表明,真空热处理使Ti/ZrN2/Al薄膜界面上发生了明显的界面扩散和化学反应,生成了TiNx物种,并且薄膜内层发生了严重的氧化反应。

References

[1]  L Krusin Elbaum,M Wittmer,C Y Ting and J J Cumo.Thin Solid Films,1983,104:81-87.
[2]  M Ostling,S Nygren,C S Petersson,H Norstrom,P Wiklund,R Buchta,H O Blom and S Berg.J Vac Sci Technol,1984,A2:281-290.
[3]  Y Igarashi,T Yamaji and S Nishikawa.JPN J Appl Phys,1990,29:L2337-2342.
[4]  E Budke,J Krempel Hesse,H Maidhof,H Schussler.Sur &Coat Technol 1999,112:108-113.
[5]  朱永法.物理化学学报,1993,9(2):211-217.
[6]  臧建兵.人工晶体学报,1996,25(4):330-334.
[7]  高巧君.磨料磨具与磨削,1991,1(61):2-8.
[8]  Zhu Y F,Zheng B,Yao W Q,et al.Diamond And Related Material s,1999,8(6):1073-1078.
[9]  Zhu Y F,Zheng B,Yao W Q et al.Surface And Interface Analysis,1999,28:254 -257.
[10]  Zhu Y F,Wang L,Yao W Q,et al.Applied Surface Science,2001,171(1/2):143-150.
[11]  ZHU Yong-Fa,WANG Li,YAO Wen-Qing,CAO Li-Li.TheChemical Journal of Chinese Universities(高等学校化学学报),2000,21(8):1269-1272.
[12]  Zhu Y F,Cao L L.Applied surface Science,1998,133:213-220.
[13]  Yongfa Zhu,Li Wang,Wenqing Yao,Lili Cao.The InterfaceDiffusion and Rea ction Between Ti and Si3N4Multilayers Dur-ing Metallization[J].Surfac e and Interface Analysis,in press.

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