全部 标题 作者
关键词 摘要

OALib Journal期刊
ISSN: 2333-9721
费用:99美元

查看量下载量

相关文章

更多...
材料工程  2003 

高频声表面波材料及器件制备工艺的研究

Keywords: 铝薄膜,声表面波材料,LiNbO3,谐振耦合换能器

Full-Text   Cite this paper   Add to My Lib

Abstract:

研究了磁控溅射和电子束蒸镀工艺对在LiNbO3基片上沉积铝膜的结构、表面形貌的影响.采用匀胶、曝光和反应离子刻蚀工艺,制备出中心频率在920MHz纵向谐振耦合换能器结构的声表面波滤波器.结果表明,电子束蒸镀的铝膜与LiNbO3单晶间具有较好的结合力,具有适合SAWF器件制备所需的微观结构,在随后的叉指换能器制备过程中表现出良好的加工性能和声传播特性.

References

[1]  Ahmed N. Surface Acoustic Wave Flow Sensor[A].IEEE Ultrasonic Symp Proc[C].1985:483-485.
[2]  一之濑生, 尾上守夫, 坂本直志, 等.声表面波器件及其应用[M].许昌昆,孟秀林, 林江等译, 北京:科学出版社, 1984.1-2.
[3]  李辉,潘峰. 声表面波器件的研究进展[J].真空科学与技术,2001,21(5):376-380.
[4]  Dmitriev V F. Theory of an SAW Filter Operating in Weakly Coupled Resonance Modes[J]. Thch Phys 2003, 48(2):231-238.
[5]  Hikita M, Matsuura N, Yokoyama K, et al.SAW Front-endModule for GSM-based Dual-band Cellular Phones with Direct-conversion Demodulation[A].IEEE T Mircow Theory[C].2002,50(11):2629-2638.
[6]  Roh Y, Lee Y, Lee S. Development of a New Design Technique for Surface Acoustic Wave Ladder Filters[J]. Jpn J Appl Phys, 2001,40(8):5173-5179.[7] Otsuka k, Funami M, Ito M, Kastsuda H,et al. Design and Evaluation of Li2B4O7 Surface Acoustic Wave Filter[J]. Jpn J Appl Phys,1995, 34:2646-2649.
[7]  Slobodnik A J. The Temperature Coefficient of Acoustic Wave Velocity and Delay on Lithium Niobate, Lithium Tantalate, Quartz and Tellurium Dioxide[A]. Physical Research Papers N-447[C].AFC RL, 1972:72-82.

Full-Text

Contact Us

service@oalib.com

QQ:3279437679

WhatsApp +8615387084133