透射电子显微镜与选区电子衍射对纳米材料的联合分析

随着纳米材料的发展,必须建立起有效的手段来认识纳米粒子.透射电子显微镜(TEM)能在纳米尺度上实现对待测样品形貌、尺寸的分析;结合选区电子衍射(SAED),可以更进一步实现对待测样品的晶体结构、晶相组成的鉴定,从而提高样品分析的准确度和可靠性.本文综述了TEM与SAED联合分析的优点及其在微电子器件、高温结构材料、生物矿物等领域的研究进展,并对其未来的发展方向进行了展望.