改性方法对氧化铟锡衬底表面形貌和化学组分的影响

采用溶剂超声、酸、碱处理等方法对氧化铟锡衬底进行表面改性,研究了改性方法对衬底表面性质及其发光二极管器件性能的影响.实验结果表明：衬底表面性质跟改性方法密切相关,酸、碱处理更加有效降低了衬底表面粗糙度和碳污染,优化了衬底的表面形貌和化学组分.另外,器件性能也依赖于衬底表面改性方法,溶剂超声处理的器件存在有明显的电流异常行为,而酸、碱处理的器件表现为正常的二极管伏安特性,并且具有较小的驱动电压.