溶胶-凝胶法制备ZnO:Al薄膜的热分解及晶化过程

采用溶胶-凝胶浸渍提拉法在普通玻璃片上制备了ZnOAl薄膜。通过热重-差示扫描量热曲线分析了前驱体在热处理过程中的物理化学变化,采用X射线衍射分析了薄膜的结晶特性。结果表明ZnOAl的结晶过程分2个阶段在约300℃开始成核和生长,在500℃左右进一步晶化。在413～523℃时,薄膜组成为ZnOAl与残余碳的混杂物;温度升至500℃时,残余碳大部分完全氧化,ZnOAl进一步晶化,使薄膜结晶质量变好。薄膜的最佳预热处理温度和后期热处理温度分别为420℃和530℃。通过扫描电镜观察发现在530℃下后期热处理的薄膜具有致密均匀的微观组织结构,在400℃下真空退火处理后其表面方电阻最小(140?/□)。所有薄膜在可见光范围内透过率均超过90%。