溶胶–凝胶法制备Ba0.90Sr0.10ZrxTi1–xO3成分梯度薄膜的介电性能

采用溶胶–凝胶法在Pt(111)/Ti/SiO2/Si衬底上制备Ba0.90Sr0.10ZrxTi1–xO3(BSZT)(x=0～0.40)组分及其成分梯度薄膜，研究各组分及梯度薄膜的相结构、显微结构及其介电性能。结果表明随着Zr含量的增加，组分BSZT薄膜的相对介电常数(εr)和介电损耗(tanδ)降低，Curie温度向低温方向移动。与单相薄膜相比，成分梯度薄膜同时具有适中的相对介电常数(150<εr<300)，低的介电损耗(tanδ<0.014)，高的材料优值(>30)及良好的温度稳定性。