铁纳米颗粒催化氮化硅粉

以Fe纳米颗粒为催化剂，采用催化氮化的方法制备氮化硅。结果表明加入2%的Fe纳米颗粒，1350℃保温2h催化氮化后，试样中的残余硅含量小于5%，而相同条件下无催化剂的试样中，单质硅的残余率高达50%。催化氮化制得的Si3N4试样中存在大量的晶须状Si3N4，其直径在40～200nm，长度可达几微米至十几微米。Si3N4晶须的生长机理主要为气相--液相--固相机理与固相--液相--气相--固相机理。