SiO2–BaO体系玻璃与金属的封接工艺

采用高温固相法制备出SiO2–BaO体系的特种玻璃，并与碳钢、合金等金属封接，制备了SiO2–BaO体系的特种玻璃封接元件。研究了封接温度和时间、封接气氛和退火等工艺参数对封接样品抗压强度、导电性能、密封性和热学稳定性的影响。通过扫描电子显微镜和能谱仪对封接界面处的形貌和元素进行了分析。结果表明制备的封接器件具有优良的力学性能、密封性、热稳定性及电性能。最佳的封接工艺参数为封接温度为975～985℃、封接时间为20min、封接气氛为N2；其退火温度为490～530℃，退火时间为20min。玻璃和金属封接处致密，无裂缝和气泡缺陷。封接界面处化学组成成分中最多的元素是C、Si、Ba和Mn。