靶用钌粉的制备
Keywords: 超重力旋转填料床,钌,锇,氧化,蒸馏,分离
Abstract:
采用超重力旋转填料床一段H2O2选择性氧化-真空蒸馏分离锇.在分离锇后的一次氯钌酸盐酸蒸馏余液中加入H2SO4和NaClO3，二段氧化-真空蒸馏分离钌和残留锇.氧化蒸馏出的RuO4经盐酸吸收还原所得精制氯钌酸盐酸吸收液中加入适量H2O2，再经NH4Cl结晶沉淀得到氯钌酸铵，在氢气气氛下煅烧还原制得海绵钌.王水与HF混合煮洗、水洗干燥，所制钌粉纯度达99.999%以上，符合钌溅射靶材的原料要求.分析了锇、钌分步氧化蒸馏分离机理.
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