微孔SiO2膜在水蒸气条件下的稳定性能

以正硅酸乙酯为前驱体，通过聚合溶胶路线制备出稳定的SiO2溶胶和制膜液，采用浸浆法，经过一次涂膜，在平均孔径约为3nm的g-Al2O3中孔膜上制备出完整无缺陷的SiO2微孔膜，考察了烧成温度对SiO2粉末和SiO2微孔膜气体渗透性能的影响.结果表明，在400~800℃焙烧温度下制备的SiO2膜在200℃及0.3MPa条件下对He的渗透通量为(7.29~12.7)′10-8mol/(m2×s×Pa)，600℃下烧成的膜的理想分离因子分别为98(He/CO2),49(He/O2),64(He/N2),79(He/CH4)和91(He/SF6)，具有分子筛分效应.微孔SiO2膜在水蒸气条件下的稳定性能取决于膜的烧成温度，400,600和800℃烧成的膜的水蒸气稳定压力分别为8,200和200kPa.