准分子激光器温度控制系统设计

设计了一种应用于准分子激光器的高精度温度控制系统，可对准分子激光器放电腔的温度进行实时采集、显示、控制，达到维持激光器腔体温度恒定的目的，从而改善激光器的工作性能如能量稳定性和使用寿命等。系统采用飞思卡尔单片机，以比例阀作为控温执行器件，并且设计了软硬件和优化的控制算法。实验结果表明在三种不同PID控制方式下，系统控制精度皆能达到±0.2℃；在改进的智能PID控制下，系统超调变小、调节时间减少；在100Hz和500Hz不同重频条件下，系统采用智能PID控制时，运行稳定。因此，本系统可为激光器的运行提供良好的温度控制环境。