溶胶凝胶法制备钼掺杂氧化锌薄膜及性质研究

利用溶胶凝胶法在Al2O3衬底上制备出了c轴择优取向的钼掺杂氧化锌（MZO）透明导电薄膜，研究了钼的掺杂量(0~1at%)对钼掺杂氧化锌薄膜光电性能的影响。研究结果表明所制备的薄膜为六方纤锌矿型结构且表面平整、致密，通过高温真空退火，MZO薄膜的电阻率明显降低，且随着钼含量的增加，MZO薄膜的电阻率呈现出先减小后增大的趋势，当钼含量为0.4at.%时，获得最小电阻率为0.13Ωcm。薄膜在近红外区域(800~2000nm)的平均透过率大于85%，这可以有效地拓宽光电器件的光谱范围。