基于智能的大功率准分子激光器配气与能量的调控
DOI: 10.7641/j.issn.1000-8152.2002.4.015
Keywords: 准分子激光器,智能控制,变控制量论域,非线性
Abstract:
激光器配气和能量调控系统为滞后时间变化的非线性系统,很难建立准确的数学模型和确定最优解.根据操作人员对激光器的实际手动控制数据,提出了辨识模糊控制规则,给出了基于知识/推理规则的智能控制方案,即在获取的知识库引导下,实现快速响应和较高的控制精度.该装置具有使用方便,控制灵活,误差小等特点,经过实际使用验证,工作稳定可靠,具有较好的实用价值.
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