全部 标题 作者
关键词 摘要

OALib Journal期刊
ISSN: 2333-9721
费用:99美元

查看量下载量

相关文章

更多...
化工进展  2015 

分子吸收光谱在半导体薄膜化学气相沉积中的应用

DOI: 10.16085/j.issn.1000-6613.2015.11.024

Keywords: 化学气相沉积,气体浓度,紫外-可见吸收光谱,红外光谱

Full-Text   Cite this paper   Add to My Lib

Abstract:

在化学气相沉积(CVD)生长半导体薄膜过程中,反应前体的浓度测量对于了解反应机理至关重要。紫外-可见吸收光谱和红外光谱是测量半导体薄膜CVD生长中分子浓度的主要工具,特别是可以实现气体浓度的原位测量。本文介绍了CVD中紫外-可见吸收光谱的测量系统,以及它们在测量Ⅲ~Ⅴ族气体浓度和确定在不同条件下化学反应路径中的应用。包括常见金属有机物等气体的吸收特征,紫外-可见吸收光谱在不同温度和压力下CVD过程中InN、GaN薄膜生长中的应用。本文也介绍了红外光谱分析方法在CVD中的应用,包括不同条件下TMG和NH3气相反应机理的分析、SiC薄膜的元素成分分析以及GaN薄膜的气相反应速率的确定。

References

[1]  赵剑曦,谢丹华. 阴离子蠕虫状胶束[J]. 化学进展,2012,24(4):456-462
[2]  卢拥军,方波,房鼎业. 粘弹性胶束压裂液的形成与流变性质[J]. 油田化学,2003,20(4):327-330.
[3]  Creighton J R,Wang G T,Breiland W G,et al. Nature of the parasitic chemistry during AlGaInN OMVPE[J]. Journal of Crystal Growth,2004,261(2):204-213.
[4]  陆大成,段树坤. 金属有机化合物气相外延基础及应用[M]. 北京:科学出版社,2009:45-47.
[5]  李钦,陈馥. 黏弹性表面活性剂及其在油田中的应用[J]. 日用化学工业,2004,34(3):173-175.
[6]  隋智慧,林冠发,朱友益,等. 三次采油用表面活性剂的制备、应用及进展[J]. 化工进展,2003,22(4):355-360.
[7]  任杰,范晓东. 蠕虫状胶束的形成及其油田应用[J]. 材料导报:综述篇,2010,24(12):60-63.
[8]  Matsuura T,Hasuda Y,Nishi S,et al. Polyimide derived from 2,2'-bis(trifluoromethyl)-4,4'-diaminobiphenyl. Ⅰ. Synthesis and characterization of polyimides prepared with 2,2-bis(3,4- dicarboxyphnyl)hexafluoropane dianhydride or pyromellitic dianhydride[J]. Macromolecules,1991,24(18):5001-5005.
[9]  马其达. 耐溶剂聚酰亚胺纳滤膜的制备与性能研究[D]. 北京:北京化工大学,2009.
[10]  McDanels D L. Analysis of stress-strain,fracture,and ductility behavior of aluminum matrix composites containing discontinuous silicon carbide reinforcement[J]. Metallurgical Transactions A,1985,16(6):1105-1115.
[11]  Marcelo Calderon,Manuel I Velasco,Miriam C Strumia. Synthesis of amphiphilic dendrons and their interactions in aqueous solutions with cetyltrimethylammonium p-toluenesulfonate (CTAT)[J]. Journal of Colloid and Interface Science,2009,336:462-469.
[12]  庞明君,魏进家,王剑峰,等. 提高表面活性剂减阻溶液传热研究进展[J]. 化工进展,2009,28(10):1693-1700. 浏览
[13]  杨翠英,主曦曦,姚旭阳. 表面活性剂分子有序组合体研究动态[J]. 山东科技大学学报,2011,30(3):66-71.
[14]  Qi R B,Wang Y J,Li J D,et al. Pervaporation separation of alkane/thiophene mixtures with PDMS membrane[J]. Journal of Membrane Science,2006,280(1-2):545-552.
[15]  关岚. 亲水性聚合物/水混合体系结构和性质的研究[D]. 天津:天津大学,2010.
[16]  Kamble M M,Waman V S,Ghosh S S,et al. High growth rate of a-SiC:H films using ethane carbon source by HW-CVD method[J]. Bulletin of Materials Science,2013,36(7):1177-1185.
[17]  Sharma S C,Shrestha L K,Tsuchiya K,et al. Viscoelastic wormlike micelles of long polyoxyethylene chain phytosterol with lipophilic nonionic surfactant in aqueous solution[J]. Journal of Physical Chemistry B,2009,113(10):3043-3050.
[18]  Basa D K,Smith F W. Annealing and crystallization processes in a hydrogenated amorphous Si Calloy film[J]. Thin Solid Films,1990,192(1):121-133.
[19]  Zhu Zhiyuan,Gonzalez Y I,Xu Hangxun,et al. Polymerization of anionic wormlike micelles[J]. Langmuir,2006,22:949-955.
[20]  Sugiyama M,Kusunoki K,Shimogaki Y,et al. Kinetic studies on thermal decomposition of MOVPE sources using fourier transform infrared spectroscopy[J]. Applied Surface Science,1997,117:746-752.
[21]  Eecerra F,Soltero J F A,Puig J E,et al. Free-radical polymerization of styrene in worm-like micelles[J]. Colloid and Polymer Science,2003,282(2):282.
[22]  姚峰,朱霞. SN7-33井表面活性剂驱油研究与应用[J]. 复杂油气藏,2014,7(1):73-76.
[23]  王治国,王树众,孙晓,等. OTAC/NaSal 蠕虫状胶束流体微观结构与线性黏弹性[J]. 力学学报,2013,45(6):854-860.
[24]  江路明,宋昭铮,檀国荣,等. 表面活性剂复配在三次采油中的应用进展[J]. 广州化工,2014,42(3):9-11.
[25]  张鑫淼,张佳伟,魏光耀,等. 蠕虫状聚离子复合型胶束的合成、组装和胶体稳定性[J]. 高等学校化学学报,2012,33(9):2085-2091.
[26]  李化真,杨海洋,周珊,等. 黏度法研究非离子型高分子对盐水溶液中油酸钾聚集行为的影响[J]. 高分子材料科学与工程,2012,28(1):56-59.
[27]  张为灿,李干佐,牟建海,等. 十六烷基三甲基溴化铵蠕虫状胶束的形成及其性质[J]. 科学通报,2000,45(11):1138-1141.
[28]  Kim S H,Kim H S,Hwang J S,et al. In situ FTIR analysis for the thermal decompositions of trimethylgallium and trimethylgallium- ammonia adduct[J]. Chemistry of Materials,1994,6(3):278-281.
[29]  林微,陈光进,吴志恺. 表面活性剂促进乙烯水合物的生成[J]. 化工进展,2003,22(s1):278-281.
[30]  吴文辉,王建全,耿同谋. 全国功能高分子行业委员会第九届年会论文集[C]//成都:中国精细化工协会,2006.
[31]  吴文辉,王建全,耿同谋. N,N-孪尾长链烷基取代丙烯酰胺疏水缔合水溶性共聚物[C]//全国功能高分子行业委员会第九届年会论文集,2007.
[32]  穆瑞花,吴文辉. 阳离子三联表面活性剂/NaSS/St蠕虫状胶束及性能[J]. 化工学报,2013,64(11):4161-4166. 浏览

Full-Text

Contact Us

service@oalib.com

QQ:3279437679

WhatsApp +8615387084133