阳极氧化参数对TiO2薄膜结晶行为影响的研究进展

阳极氧化技术制备的功能性TiO2薄膜材料因其良好的耐腐蚀性、光催化活性及生物相容性，被广泛应用于腐蚀防护、光催化、太阳能电池及生物工程等领域。钛表面阳极氧化膜的应用性能与其结构密切相关，相较于无定形结构的TiO2，结晶的TiO2具有更高的光催化活性和更好的生物相容性。本文综述了氧化电位、电解液、氧化方式及时间等阳极氧化参数对钛表面氧化物薄膜结晶行为的影响，并分别讨论了各种因素对TiO2结晶的影响机理。在钛阳极氧化过程中，氧化电位的增加、温度的升高、氧化时间的延长以及电解液浓度的增加都有利于TiO2薄膜的结晶，而杂质离子的侵入及氧化膜生长速率的提高则不利于钛氧化物的结晶。