用于氨气深度脱水的吸附材料

随着近年来电子行业的迅猛发展，对包括高纯氨在内的各种电子气体的需求量与日俱增。在生产高纯氨的工艺中，水分是最难脱除的。本文介绍了国内外高纯氨的生产使用情况，综述了硅胶、分子筛和活性氧化铝等几种常见吸水材料以及金属合金、金属氧化物和金属盐类吸附材料的研究进展，阐述了物理吸附、化学吸附以及二者相结合的吸附工艺的优缺点，探讨了吸附机理。最后对氨气中微量水吸附脱除工艺的发展方向进行了展望，指出采用吸附容量大、吸附深度高并且易于再生的吸附剂的物理、化学吸附相结合的工艺是今后的研究方向。