基于ChemCAD的三氯氢硅尾气处理过程模拟及优化

通过ChemCAD流程模拟软件对实际年产7000t三氯氢硅的生产流程进行模拟、分析，改进三氯氢硅合成所产生尾气的处理。原工况为合成气深冷分离废气进入三废系统，新工况将原工况的深冷后的气体压缩后再次深冷分离。使废气的排放量减小至原工艺的8%左右，减少了尾气排放的污染，产生了良好的经济和环境效益。