晶圆制造自动化组合设备的调度问题研究

晶圆制造的加工工艺日趋复杂，存在严格的逗留时间约束，无法解决自动化组合设备的调度问题，尤其对于重入加工、作业时间的随机波动及多自动化组合设备等复杂的加工过程更是如此。通过分析晶圆制造自动化组合设备调度的难点和局限性以及现有的调度方法及其局限性，提出了“仿真＋启发式＋优化”的方法，可能是有效解决组合设备调度问题的途径。