肉桂酸酯系光敏聚合物的光致诱蚀作用机理研究

光致诱蚀作用或无显影气相光刻作用是一个非常有趣的现象。为了探讨肉桂酸酯系光敏聚合物的光致诱蚀作用机理,观察了各种因素的相互影响。提出了下述理论假设当肉桂酸酯光敏聚合物薄膜受紫外光照射时,发生光化学反应并使其结构性质发生变化,从而使得薄膜可以从腐蚀气体中吸收H2O和HF气体,形成一个氢氟酸-聚合物溶液,此溶液与HF和H2O的混和气体不同,可以与其下部的SiO2迅速反应。但未受光照射的区域不易同时吸收H2O和HF,其下部SiO2的反应速度很慢,于是在两个区域间形成了很大的腐蚀速度差,从而形成一个清晰的光刻图象。这个假设可以解释现有的全部实验结果。