负型远紫外抗蚀剂——聚乙烯咔唑-双叠氮系

本文合成了4,4′-双叠氮二苯基砜。选用聚乙烯咔唑-4,4′-双叠氮二苯基砜体系,用30W紫外杀菌灯为光源进行了曝光特性的研究,发现在聚乙烯咔唑中加入5％的4,4′-双叠氮二苯基砜,其灵敏度比聚乙烯咔唑本身的灵敏度提高了30倍。该体系并具有很好的耐热性。