八氟环丁烷等离子体聚合物结构的ESCA和IR表征

采用外部电极电容耦合的等离子体聚合装置,以Ar、N2H2和Hc为等离子气体,在不同功率、压力、等离子气体及等离子气体对单体比率的反应条件下,在辉光放电中进行八氟环丁烷聚合。用电子能谱(ESCA)和红外光谱(IR)法对聚合物结构进行表征。发现聚合物中存在C、F、Si、O、N和H等六种元素,并对可能存在的基团进行探讨。通过对ESCA(C18谱的分析,研究了聚合物支化与交联程度对反应条件的依赖关系,及其和聚合与刻蚀竞争历程之间存在的内在联系。