高能离子注入聚合物薄膜耐磨机理研究

聚酰亚胺（Kapton）薄膜在经过1MvV、1.5MeV、2MeV的He+离子注入后,表面硬度和耐磨性能发生了很大的变化,测试结果表明随着注入He+离子能量的提高,薄膜的表面硬度随之增大,且均大于示注入的样品；样品最佳耐弃权票性能并不出现在最高注入能量下,而是在一中等能量下获得,通过X-射线光电子能谱（XPS）实验得出注入He+离子后的薄膜表面层中O、N原子含量降低,形成以苯环为主的三维立体网状结构。