可紫外光固化的聚乙烯基硅氮烷合成与表征

采用带丙烯酸酯基团的烯丙基溴化合物(4-溴丁烯酸乙酯)和聚乙烯基硅氮烷发生取代反应，实现了丙烯酸酯基团在聚乙烯基硅氮烷主链上的链接.采用质子核磁共振谱(1H-NMR)和二维质子核磁共振谱(2D-1H-1H-NMR)对分子结构进行了表征，采用光学差热分析仪(Photo-DSC)和傅立叶转换红外光谱仪(FT-IR)测试了改性高分子的光敏性能，用热重分析仪(TGA)分析了产物在高纯氮气氛围下的陶瓷收率.结果表明，通过分子改性，交联固化时间从改性前的20min减少到1min之内，功能化的聚乙烯基硅氮烷可以在光刻蚀工艺中作为负性光刻胶使用.