激光增强电沉积铜过程的研究

用旋转圆盘电极法研究了激光照射下铜的电沉积过程。证明激光照射引起电极界面微区温度升高,使平衡电位正移,交换电流i~o和电荷传递系数α均增大,剧烈的微区搅拌提高了极限扩散电流。这些变化都加快了电沉积速度,使高速局部电镀有可能实现。