角分辨飞行时间法研究GaAs(100)表面蚀刻反应动力学

采用探测室可转动的分子束实验装置,研究了氯分子束与GaAs(100)表面热反应和紫外激光诱导反应的动力学.结果表明,热反应的主要产物为GaCl~3,其角分布可用cos^2^.^3θ函数拟合.对于紫外(355nm)激光诱导反应,由角分辨的飞行时间(TOF)法测得主要产物为GaCl等,它们的通量角分布须用双余弦加和公式(c~1cosθ+c~2cos^nθ)拟合,表示产物粒子在表面法线方向明显聚集,而且由TOF谱求得粒子的动能在表面法线方向最大.这种明显的聚集现象可以由激光诱导的粒子在表面附近发生碰撞效应来解释