脉冲阳极氧化条件对多孔硅法布里-珀罗干涉特性影响

采用电化学脉冲阳极氧化法制备具有干涉效应的多孔硅.研究电流密度、有效阳极氧化时间、电解液组成对多孔硅法布里-珀罗(F-P)干涉特性的影响,利用光纤光谱仪测量多孔硅反射光谱并计算其光学厚度.结果表明,当阳极氧化电流密度78mA？cm－2、有效阳极氧化时间5min、氢氟酸与乙醇体积比VHF∶VEtOH＝2∶1时,制备的多孔硅法布里-珀罗干涉条纹均匀,膜层性质稳定;当与饱和乙醇气体接触时,多孔硅反射光谱吸收峰位由612红移到637nm,光学厚度由5864增加到6296nm,表明利用多孔硅法布里-珀罗干涉效应检测乙醇气体思路是可行的.