Carria, E.; Mio, A. M.; Gibilisco, S.; Miritello, M.; Grimaldi,M. G.; Rimini,E. Electrochem. Solid-State Lett. 2011, 14, 124.
[2]
Peng, H. K.; Cil, K.; Gokirmak, A.; Bakan, G.; Zhu, Y.; Lai, C. S.; Lam, C. H.; Silva, H. Thin Solid Films. 2012, 520, 2976.
[3]
Baker, D. A.; Paesler, M. A.; Lucovsky, G.; Agarwal,S. C.;Taylor, P. C. Phys. Rev. Lett. 2006, 96, 255501.
[4]
Zhong, M. Ph. D. Investigation of Phase-change Materials Chemical Mechanical Polishing, Shanghai Institute of Micro-system and Information Technology, Chinese Academy of Sciences,2010 (in Chinese) (钟旻, 博士论文, 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 上海, 2010)
[5]
Kim, J. Y.; Suwon, S. US7, 682, 976, B2. 2010.3.23.
[6]
Liu, Q. B.; Song, Z. T.; Zhang, K. L.; Wang, L.Y.; Feng, S. L. Chin. Phys. Lett. 2006, 23, 2296.
[7]
Schulueter, J. A.; Palmer, B. J. US7, 678, 605B2. 2010, 3.16.
[8]
Liu, Z. US 2010/0112906 A1. 2010,5.6
[9]
Cui, H.; Cho, J. Y.; Park, J. H.; Park, H. S.; Park, J. G. J. Electrochem. Soc. 2011, 158, H666.
[10]
Park, J. H.; Cui, H.; Yi, S. H.; Park, J. G.; Paik, U. J. Mater. Res. 2008, 23, 3323.
[11]
Zhang, Z. F.; Liu, W. L.; Song, Z. T.; J. Vac. Sci. Technol. B. 2011, 29, 011020.
[12]
He, A. D.; Wang, L. Y,; Song, Z. T.; Liu,B.; Zhong, M.; Yan, W. X.; Li, T. J.; Feng, S. L. ECS J. Solid State Sci. Technol. 2012,1,179.
[13]
He, A. D.; Song, Z. T.; Liu, B.; Zhong, M.; Wang, L. Y.; Lu, Y. G.; Feng, S. L. Chin. Phys. B. 2013, 22, 018503.
[14]
Yan, W. X.; Wang, L. Y.; Zhang, Z, F.; He, A.D.; Zhong, M.; Liu, W. L.; Wu, L. C.; Song, Z. T. Chin. Phys. Lett. 2012, 29(3):038301.
[15]
Cui, H.; Cho, J. Y.; Hwang, H. S.; Lim, J. H.; Park, J.H.; Park, H. S.; Hong, K.; Park, J. G. J. Electrochem. Soc. 2010,157, H1036.
[16]
Zhong, M.; Song, Z., T.; Liu, B.; Feng, S. L.; Chen, B. J. Electrochem. Soc. 2008, 155, H929.
[17]
Cho, J. Y.; Hao, C.; Park, J. H; Yi, S. H.; Park, J. G. Electrochem. Solid-State Lett. 2010, 13, H155.
[18]
Yi, S. H.; Cho, J. Y.; Park, J. G. J. Electrochem. Soc. 2012,159, C546.
[19]
Wang, L. Y.; Song, Z. T.; Zhong, M.; Liu, W. L.; Yan,W. X.; Qin, F.; He, A. D.; Liu, B. Appl. Surf. Sci. 2012, 258, 5185.
[20]
Wang, Y. L.; Liu, B.; Song, Z. T.; Feng, S.L.; Xiang, Y. H.; Zhang, F.X.; J. Electrochem. Soc. 2009, 156, H699
[21]
Cho, J. Y.; Cui, H.; Park, J. H.; Park, H. S.; Park, J. G. Electrochem. Solid-State Lett. 2011, 14, H450.
[22]
Jeong, T. H.; Kim, R. M.; Seo, H.; Park, J. W.; Yeon, C. Jpn. J. Appl. Phys, Part1. 2000, 39, 2775.
[23]
Matsunaga, T.; Yamada, N. Jpn. J. Appl. Phys. 2002, 41, 1674.
[24]
Yeung, F.; Ahn, S. J.; Hwang, Y. N.; Jeong,C. W.; Song,Y. J.; Lee,S. Y.; Lee,S. H.; Ryoo,K. C.; Park, J. H.; Shin, J. M.; Jeong, W. C.; Kim, Y. T.; Koh, G. H.; Jeong, G. T.; Jeong, H.S.; Kim. K. Jpn. J. Appl. Phys. 2005, 44, 2691.
[25]
Bae, J.; Lee, W., Park, S.; Lee, J. D.; Hwang, I.; Nam, S. ICPT Grenoble, France. 2012,10.
