柔性铰链放大器的设计与加工技术

为弥补压电陶瓷微位移器件伸长量过小的缺陷，设计了一种结构紧凑、无传动间隙、无附加位移耦合的柔性铰链微位移放大器，以满足大行程纳米定位的需要．详细讨论了柔性铰链放大器的工作原理、设计方法和加工技术关键．