全部 标题 作者
关键词 摘要

OALib Journal期刊
ISSN: 2333-9721
费用:99美元

查看量下载量

相关文章

更多...

立方氮化硼(c-BN)薄膜的光学带隙

Keywords: 立方氮化硼薄膜,射频溅射,光学带隙

Full-Text   Cite this paper   Add to My Lib

Abstract:

用两步射频溅射法在n型Si(111)片和熔融石英片上沉积出不同体积分数的立方氮化硼(c-BN)薄膜,薄膜的成分由傅里叶红外吸收谱标识;用紫外-可见分光光度计测量了沉积在石英片上的BN薄膜的透射光谱T_e(λ)和反射光谱R_e(λ),薄膜的厚度用台阶仪测得。由透射、反射光谱计算了薄膜的光吸收系数a,进而采用有效的中间形式,确定了氮化硼薄膜的光学带隙。结果表明:随着c-BN体积分数的增加,光学带隙随之增大。确定出的光学带隙和经验公式的计算结果相吻合。

References

[1]  方啸虎.超硬材料基础和标准[M].北京:中国建材工业出版社,1998. 4.
[2]  陈治明,王建农.半导体器件的材料物理学基础[M].北京:科学出版社,1999. 17.
[3]  MIYATA N, MORIKI K, MISHIMA O, et al. Optical constants of cubic boron nitride[J]. Phys Rev B, 1989,40: 12028-12029.
[4]  ZHANG X W, ZOU Y J, WANG B, et al. Optical band gap and refractive index of c-BN thin films synthesized by radio frequency bias sputering[J]. Journal of Materials Science, 2001, 36: 1957-1961.
[5]  田晶泽,张恒大,夏立芳,等.脉冲偏压下沉积的立方氮化硼膜的断面结构研究[J].真空科学与技术,2002,22(2) :127-130.
[6]  李勇华,陈学康,雷占许,等.c-BN薄膜的研究进展[J].真空与低温,1999,5(4) :193-197.
[7]  YE J, OECHSNER H, WESTERMEYR S. Effect of substrate temperature and ion bombardment on the formation of cubic boron nitride films: A two-step deposition approach[J]. J Vac Sci Technol A, 2001, 19(5) :2294-2300.
[8]  CHEN G H, ZHANG X W, WANG B, et al. Optical absorption edge characteristics of cubic boron nitride thin film[J].Applied Physics Letters, 1999, 75(1) :10-12.
[9]  FRIEDMANN T A, MIRKARRIMI P B, MEDLIN D L, et al. Ion-assisted pulsed laser deposition of cubic boron nitride film[J]. J Appl Phys, 1994, 76(5) : 3088-3101.
[10]  毛友德.非晶态半导体[M].上海:上海交通大学出版社,1986. 116-122.

Full-Text

Contact Us

service@oalib.com

QQ:3279437679

WhatsApp +8615387084133