|
OALib Journal期刊
ISSN: 2333-9721
费用：99美元
|
|
|
|
PVD薄膜的粘附性和塑韧性评估
, PP. 77-82
Keywords: PVD薄膜,粘附性,塑韧性,恒速拉伸法,划痕法
Abstract:
采用物理气相沉积(PVD)技术,在单面抛光的缺口拉伸试样上生长Ti和TiN薄膜,采用扫描电镜(SEM)观察膜面以0.05mm/min变形速度拉伸变形行为并记录和确定膜的开裂和脱落时的临界伸长量δ_c和δ_s,用来评价薄膜的粘附性和塑韧性;相同的膜/基体系进行划痕实验,确定其临界载荷L_c并评价膜的粘附性,结果表明前者较好地说明了膜与基体粘附性和膜自身的塑韧性,后者只能评价膜的粘附性,而且两种方法评价粘附性有良好的一致性,此外还比较了几种涂层样品的拉伸曲线并讨论了薄膜的塑韧性和粘附性对基材屈服极限的影响,引入了粘附功判据
| [1] | 1 Cheng C C, Erdemir A, Fenske G R. Surf Coat Technol, 1989; 39/40: 365
|
| [2] | 2 Je J H, Gyarmati E, Naoumidis A. Thin Solid Films, 1986; 136: 57
|
| [3] | 3 Perry A J. Surf Eng, 1986; 2: 183
|
| [4] | 4 Kopacz W, Jehn H A. Vacuum, 1986; 36: 81
|
| [5] | 5 Hedenqvist P, Olsson M, Jacobson S, Soderberg S. Surf Coat Technol, 1990; 41: 13
|
| [6] | 6 刘长清.中国科学院金属腐蚀与防护研究所硕士学位论文,1988
|
| [7] | 7 Laugier M. Thin Solid Films, 1981; 76: 289
|
| [8] | 8 Coghill M D E, Stjohn D H. Surf Coat Technol, 1990; 41: 135
|
| [9] | 9 Wu W, Liu C, Jin Z, Yu Z, Yu L, Shi C. Mater Sci Eng, 1991; A131: 203
|
| [10] | 10 Laugier M T. Thin Solid Films, 1984; 117: 243
|
Full-Text
|
|
Contact Us
service@oalib.com QQ:3279437679 
WhatsApp +8615387084133
|
|
