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ISSN: 2333-9721
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金属学报  2000 

原位电阻法研究高温器件焊面多层金属膜间的扩散

, PP. 1275-1278

Keywords: 多层金属膜,原位电阻法

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Abstract:

采用原位电阻法测量了高温器件焊面多层金属膜Au/Ti,Pd/Ti在300℃不同气氛下电阻随退火时间的变化,结果表明,300℃退火时Au膜中存在Ti的扩散导致电阻显著增加,但电阻随时间变化与气氛的关系不大,电阻变化的规律基本符合一维有限厚无限大平面体扩散模型,空气中退火时电阻增加小于Ar气氛下退火电阻增加,可用Au膜中Ti扩散速率的差异来解释,Pd/Ti膜在Ar气氛这火时电阻基本无变化.

References

[1]  Freytage J, Wennemuth I. In: Zhang M, Tu K N eds., Proc 5th Int Conf on Solid-State and Intergrated CircuitTechnology, Beijing: Electronics Industry Press, 1998: 219
[2]  Fisher J S, Hall P M. Proc IEEE, 1971; 59: 1418
[3]  Morabito J M, Thomas J H, Lesh N G. IEEE Trans PartsHybrids Packag, 1975; 11: 253
[4]  Tisone T C, Drobek J. J Vac Sci Technol, 1971; 9: 271
[5]  Poate J M, Turner P A, DeBonte W J. J Appl Phys, 1975;46: 4275
[6]  Feldman I C, Mayer J W. Fundamentals Of Surface andThin Film Analysis. New York: Elsevier Science Publishing Co Inc, 1986: 163
[7]  Vanhecke B, Roggen J, Beyne E, Deceuninck W, Deschepper L, Stals L. VTE, 1992; 4: 64
[8]  Hall P M, Morabito J M, Poate J M. Thin Solid Film,1976; 33: 107F

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