影响真空淀积膜在平面衬底上分布的一些因素

探讨了淀积时间、衬底温度、多源蒸发以及蒸发速度等因素对真空淀积膜厚度分布的影响。发现对各种淀积膜均存在一定的临界厚度,当膜厚小于它时,淀积系数即为厚度的函数;讨论了等黑度膜淀积时间与衬底温度的关系;双源淀积膜厚度分布的测量结果表明,只要膜厚度远大于临界厚度时,则实际测量值与迭加两单源分布曲线之计算值间的差值不大于5％;对蒸发速度影响的研究指出,在计算非定成分样品浓度时,必须考虑到不同蒸发速度的影响。