Co对弧光放电离子镀WC-Co膜生长的影响
, PP. 229-232
Keywords: 弧光放电离子镀,WC-Co膜,难熔金属,Co
Abstract:
利用弧光放电离子镀法获得了难熔超硬WC-Co膜(其中含Co为0,4,15wt-%).随着Co含量的增加,使真空室里等离子态趋于稳定,并使成膜速度增加;其组织结构为Thornton图里的T区,并逐渐由柱状晶组织变成致密的组织结构。
References
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